项目名称：昆明物理研究所电感耦合等离子化学气相沉积设备采购项目
招标项目编号：0653-204000001015
招标范围：货物名称： 电感耦合等离子化学气相沉积设备。 数量：1台。 简要技术规格：电感耦合等离子化学气相沉积设备主要由以下几部分组成：反应腔室、进样室、下电极、电感耦合等离子体ICP源（上电极）、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体衬底上沉积氧化硅（SiO2）、氮化硅（SiNx）介质薄膜。 备注：具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
招标机构：云南招标股份有限公司
招标人：昆明物理研究所
开标时间：2020-07-03 09:30
公示开始时间：2020-07-09 10:51
评标公示截止时间：2020-07-13 23:59
中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
1	嘉华科技香港有限公司	SENTECH Instruments GmbH	德国
2	纳云电子有限公司	Plasma-Therm	美国
3	艾瑞科电子香港有限公司	FHR Anlagenbau GmBH	德国